| 用途 | 如图 |
|---|---|
| 品牌 | 宝来利 |
| 型号 | 如图 |
BLLVAC-1200F继承高性能、高产量的特点与以往机型相比实现了更高的性价比，节电50%。
常规配置
真空系统
低真空泵：2X-70（选择：进口SV300，E2M17/275）
增压泵：ZJP600（选择：进口WAU2001，EH1200/EH2600）
高真空泵：涡轮分子泵（选择：低温泵，扩散泵或进口磁悬浮）
真空阀系统
-型号40，50，150，550
真空室加热系统
-**高温度：0到400℃
-型号：不锈钢管装加热器（选择：卤素灯管）
基片架盘型号：
-球面型（选择：平面型，3公自转，多行星型）
-转速：0到30转数/分
软启，软停，可调速
电器控制系统：
-触膜屏面板和PLC控制
-可修改和改变重要的参数
- 全程自动控制镀膜以达到**终产品所需要求
VAC系统
-进口低高真空感应器：1
MFC系统
-进口质量流量控制器：1
-进口电磁阀：1
APC系统
-进口质量流量控制器：1
-进口电磁阀：1
镀膜沉积控制系统
-晶控控制：美国产IC-6，
XTC-3S/M，INFICON310。
-石英晶体感应器：1，2，6头
光控控制
-国产光控（或英国inteiiemetrics）
离子源
-霍儿源（或考夫曼，RF源）
电子束源
-容量：15cc，25cc，40cc等等
-偏转角度：180°或270°
-坩埚：4，6，8，12，16，2+1，6+1个等
深冷系统
-真空室麦斯纳阱
-扩散泵冷阱
15021615632