品牌 | 沈阳威利德 |
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型号 | PVD1612G |
主要技术参数:
1. 极限真空度:5x10-4Pa;2. 工作真空度:6.67x10-3Pa;3. 抽速:从大气抽至6.67x10-3Pa,<12分钟;4. 压升率:0.35Pa/小时;5. 自转轴中心距:210mm或165mm可互换;6. 工位:24个或18个可互换;7. 电气控制系统:PLC全自动控制,可动行多种工艺设置。产品名称 | PVD1612G | 数量 |
真空系统 | 1.2x70旋片泵三台2.RTO·300S罗茨泵一台3.TYFB-3600分子泵三台 4.阀门:GDZ3X400A高阀(全不锈钢结构),前级阀、预抽阀、维持阀、截止阀以上均为GDQ100型不锈钢结构,DDC-JQ80型电磁真空带充气阀为上海二阀电磁阀,旁通阀为罗茨泵内安装阀; 5.管道为全不锈钢结构 | 1套 |
真空室 | 1.罐体材料为太钢SUS304不锈钢带水冷套结构,内尺寸Φ1600x1200mm,内壁厚10mm,上盖板布置8对(16支)磁控靶位孔位,对靶间距两工位,抽气口两侧排布两组八支弧源,门上两个观察窗; 2.工件支杆1套,Ø8mm; 3.内衬板2套; 4.布气管路; 5.放气阀加装空气滤清器; 6.转架为下转架,带屏蔽罩。 | 1套 |
偏压电源 | 脉冲逆变PLS50KW | 1台 |
中频电源 | 中频逆变MF40KW | 8台 |
弧电源 | 直流逆变DC160A | 8台 |