| 类型 | 其它 |
|---|---|
| 品牌 | 三石 |
| 型号 | SH 系列 |
| SH 系列空心热阴极等离子镀膜机电气总成 | |
| 特点： 本系统用于以空心热阴极等离子电子束蒸发源（HCD枪）实现金属材料蒸发的真空镀膜设备，系统的电源部分全部采用高频开关技术，相比传统的可控硅（GTO）及接触调压器控制显示出无比优越的性能，系统集成度、工作效率及稳定性极大提高。 | |
| 系统组成 | |
| 真空计 | HY9940C（清华大学电子工程系）测量范围覆盖大气到镀膜机的极限真空值 |
| 质量流量控制 | FLOW-1型四路气体控制，可实现各种气体之间的独立或比例控制 |
| 机组控制 | 提供开机、装具及镀膜结束等工作流程所需的对设备主机操 控机构，并显示相应单元工作状态 |
| 电源控制 | 调节镀膜所需电源参数，控制镀膜流程各电源启停时序 |
| 引束电源 | [SOLICITATION]用于热空心阴极产生等离子体电子束的诱导电源 |
| 主束电源 | [DISCHARGE]用于维持热空心阴极产生等离子体电子束的工作电源，此高密度等离子体电子束轰击靶材使其蒸发 |
| 加速电源 | [ACCELERATE]用于提供工件负偏压，提高粒子运动能量，增加膜层附着力 |
| 聚焦电源 | [MAGNETIC COIL]用于聚焦及偏转电子束，修正电子束与靶材 的位置关系 |
| 枪集束电源 | [GUN COIL]用于初步聚焦电子枪电子束 |
| 使用环境 | 环境温度 0-40℃环境湿度 相对湿度≤85％空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好 |
| 冷却水 | 清洁 不含矿物质及其他可溶性物质水温 15-25℃压力 0.15±0.05Mpa |
