供应菲尔姆SCS-1050/70三靶镀膜机

1、产品用途及使用范围：

本设备是一种高真空磁控溅射镀膜机，主要用于真空太阳能集热管生产中镀制渐变的**化学配比的太阳能选择性吸收膜。

该设备采用先进的触摸屏和PLC自动控制技术，用户可以通过人机对话，很方便的编制各种生产工艺，达到高精度的化学配比镀膜，还可以通过变换靶材，变换基片(工件)夹具，在各种基片表面制备各种纯金属膜、合金膜，以及多种金属的化合物膜。本设备具有十分广泛的使用范围。

2、主要技术性能规范：

2.1. 镀膜室结构尺寸：立式圆柱形前开门结构

       内腔尺寸：Φ1050×2400mm

2.2. 真空系统：

主  泵：K-650油扩散泵       1台     9KW

前级泵：2X-70旋片式机械泵   3台     5.5KW×3=16.5KW

维持泵：2X-15旋片式机械泵   1台     1.5KW

阀  门：电磁气动型

2.3. 极限真空：1.3×10-3Pa

2.4. 抽气时间：从大气压到6.7×10-3Pa≤15min

2.5. 工件架：行星式公、自转，直流电机无级调速。

       公转速度：0.3～1.5r/min

       自转速度：5～23r/min

       可镀工件尺寸：Φ47(内管)    70支

2.6. 靶：磁场旋转圆柱靶：不锈钢靶1支、铜靶1支、铝靶1支

2.7. 冷却水：压力：1.8～2×105Pa；温度≤20～25℃；流量：2t/h(需方自备)

2.8. 压缩空气：工作压强：(4～7)×105Pa，要求：过滤，除水，除油 (需方自备)

2.9. 溅射电源：DC –700V/45A  2套，30KW×2 

2.10. 

装机功率：81.5KW，工作电压：AC380V  电源频率：50HZq

全国客户服务热线（免长途）：4008603003