泰科诺ZHD400 蒸发镀膜机

北京泰科诺近20年行业经验，国内专业真空镀膜设备制造商；其中蒸发类产品市场占有率达80%以上，可现货交付，专为各大高校实验室，科研院所和生产企业服务。专业生产蒸发镀膜机ZHD系列，磁控溅射镀膜机JCP系列，多弧离子溅射镀膜机TSU系列，电子束蒸发镀膜机TEMD系列等等，欢迎咨询！

ZHD400-热蒸发镀膜机 Thermal Evaportor

产品参数：

型号： ZHD400

镀膜方式： 多源蒸发镀膜

真空腔室结构： 立式方形前开门结构

真空腔室尺寸 L400×W440×H450mm

加热温度室温～300℃

旋转基片台： 120mm×120mm

基片台升降： 手动调节升降高度0～80mm

膜厚不均匀性： ≤±5.0%

蒸发源： 2～3组金属源，2～3组有机源

控制方式： PLC控制

占地面积： 主机L1750×W850×H1910mm

总功率： ≥8KW

选配 ：冷水机、膜厚仪，电源等等

产品特点 Product Features：

1. 工艺成熟，性能稳定，使用维护成本低；

2. 功能强大，兼容有机蒸发与无机蒸发，多元共蒸与分蒸；

3. 一体化设计，占地面积小，可单独或与手套箱集成使用；

4. 适用范围：用于实验室制备金属单质膜、半导体膜、有机膜等，也可用于生产线前期工艺试验；广泛用于钙钛矿太阳能电池、OPV有机太阳能电池、OLED薄膜等研究系统等等。