产品名称 | 仪器仪表设计产品 |
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产品 | 产品1 |
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黄经理
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1. 真空腔体为直径160 mm的玻璃腔体,易清洁和放入样品;2. 安装有一个110 mm的样品台,并且样品台可以旋转,使所制薄膜达到更好的均匀性;3. 采用钨舟作为发热源,**高温度可达到2300℃;(赠送三只)4. **控温:可设置30段升降温程序,控温精度为+/-1℃;5. 自动/手动双控制选择;6. 设备上有一KF25接口用于连接真空泵;7. **高真空度可达1E-6 Pa(采用涡旋分子泵)8. 双极旋片真空泵或干泵,可使仪器真空腔体的真空度达到0.1 Pa;9. 真空度达到0.1 Pa时,可蒸发一些贵金属,如金、银和铂,也可蒸发一些有机材料;10. 高真空度可达1E-3 Pa(采用涡旋分子泵),此时可蒸发对氧敏感的材料,如Al、Mg、Li;11. 样品台可静止或自动旋转,转速为:15 rpm12. 样品台和蒸发源之间的距离可以调节,调节范围为:50mm-150mm;13. 配备膜厚检测仪



