加工定制 | 是 |
---|---|
电镀电源 | 直流电源 |
镀膜材质 | 其他超硬功能性金属膜 |
镀膜原理 | 蒸发镀膜 |
别名 | 镀膜机 |
规格 | ZZ500-C型,ZZS系列,JC系列,XXNG630-Ⅰ型 |
适用范围 | 用于生产IR-CUT滤光片、分色滤光片、高反射膜、AR膜、长波通、短波通和多种电学薄膜。 |
品牌 | 鑫南光 |
型号 | 真空镀膜机 |
电镀位置 | 浸镀 |
镀种 | 真空镀膜 |
*************************************************************************************************************************************************************************************************************************************************************************************************************************************************************************
ZZ500-C型真空镀膜机
一、主要用途:
供制备薄膜无源微型元件。
二、主要技术指标:
1、蒸发室极限真空度: 4×10-4Pa
2、蒸发室恢复4×10-3Pa的时间: ≤15min
3、基片旋转架的转速: 0~60n/min
4、基片烘烤温度: 室温~350℃
5、蒸发电极数量: 3对
6、蒸发电极参数: 0~10伏 0~300A
7、离子轰击参数: 0~3000伏 0~200mA
8、钟罩容积: Φ500×620(mm)
9、需要动力: 电力 10KW
10、外形尺寸: 1300×830×1720(mm)
XXNG630-Ⅰ型磁控溅射真空离子镀膜机
一、使用范围:
1、应用行业 :五金、钟表、装饰、工具、汽车、建筑水暧、医疗器械等行业。
2、可镀制膜层 :各种金属膜和介质膜膜层。
一、主要技术指标;
1、真空腔体形式:钟罩顶盖升降、不锈钢制造、靶、下烘烤置于底板上,从下往上溅射。
2、内腔尺寸:φ630×300mm(长×宽×高)。
3、腔体:不锈钢,内表面抛光,外表面涂柒。
4、极限真空:6×10-4Pa(24小时内).
5、恢复真空度:大气→6×10-3Pa≤15min。
6、抽气口有气动调节阀一套。
7、箱体骨架下方为带锁按键式门,门锁美观、大方。
8、真空室门上观察窗口一个,能方便观察弧源的工作状态。
9、电源:三相五线制220V/380V,90Hz,功率50KW
10、气源:气压0.6MPa
11、水源: 工业软水,水压0.15~0.25Mpa,水量50L/min,水温<25℃;
ZZS系列箱式真空镀膜机
一、用途:
用于生产IR-CUT滤光片、分色滤光片、高反射膜、AR膜、长波通、短波通和多种电学薄膜。
二、产品特点:
1、采用箱式结构,真空系统后置,便于操作和和维修;整机表面平整,便于清洁,适合放在净化间内作穿墙式安装。
2、设备真空系统抽速大,具有抽气时间短,真空度高,生产周期短等优点。
3、工件转动采用上部中心驱动,轴承带水冷,磁流体密封,转动平稳可靠。
4、采用专业的镀膜控制系统,人机操作界面美观实用,系统稳定可靠,可实现系统的手动、半自动和全自动操作。
JC系列磁控溅射镀膜机
一、用途:
磁控溅射镀膜设备主要用于在基片上镀制金属、半导体、电介质、多元素化合物或混合物。利用溅射法可制备金属膜、半导体膜、绝缘膜、硬质膜、耐热膜、耐腐蚀膜、超导膜、磁性膜、光学膜等各种特殊性能的薄膜。
二、产品特点:
基片尺寸适应范围广,可镀制多种材料,工艺可控性好、灵活性强、重复性高、基片温升小、膜层附着力强,计算机全自动控制,可靠性高。且安装维修方便,占地位置小。
ZZS1100型磁控溅射设备
一 主体
1.形式:箱式,立式前开门,蒸发室和抽气室,配有关门保险开关;主机与电控柜之间安装金属线槽(主要连接电缆、电线、软水管和软气管均放入金属线槽),并从主机与电控柜上方通过。水、电、气路有故障自动报警和保护系统;采用蜂鸣器报警。
2.真空腔体:内腔尺寸为φ1100 mm(直径)×1300 mm(高);采用304不锈钢材料,内表面作抛光处理,外表面为直接焊不锈钢水管,通冷却水冷却;箱体内衬不锈钢防污板(侧壁防污板厚度δ=1.5mm,室内下防污平板厚度δ=2mm)两套(其中一套为备用),多片式结构,安装方式为龟背式,在室体抽气口与工作室之间采用方便拆卸清洗的百叶窗(2套)。防污板为可拆卸式、便于清洗。
3.真空室门:采用304不锈钢材料,内表面作抛光处理,外表面为直接焊不锈钢水管,通冷却水冷却;真空室门上装有表面涂漆的外装饰板;真空室门上设观察窗3个,位置在中下部左右各一个,并安装玻璃和可手动旋转的防护镜,内配不锈钢挡板。
4.隔离板:为了避免磁控溅射和电子枪蒸发相互污染,增加一块隔离板把真空室分成溅射区和蒸发区,并在溅射区设放电轰击,同时附加一块隔离板以便日后清洗
5.主机骨架:采用型钢制造,骨架前面有带锁的门;两侧有带百叶窗的可拆卸的固定侧板。
6.水冷却系统:主进、出水母管采用不锈钢管制成,进出水管均加装手动球阀,各主要冷却部位均单独供水冷却。进、出水软管有标识区分;对重要部件(如主泵、电子枪、等)加装水流保护,有断水报警,并有水流量显示。
7.控电柜:采用并柜方式,其中仪表安装柜为19英寸国际标准控电柜,另一个电器元件安装柜为前后开门大板式结构。控制柜面板上配有应急安全开关1个。
8.修正板:配修正挡板(固定式),不锈钢材料,主要修正电子枪及电阻蒸发源。
9.放气阀:有快、慢放气阀各一支。
二 真空系统
1.极限真空度:3×10-4Pa(空载,常温,洁净空间)
2.恢复真空时间:
1)大气至4×10-3 Pa≤15min(空载,常温,洁净空间)
2)电子枪蒸发工作时,真空镀能进入10-2Pa
3.真空系统配置:
1)主泵:配4200l/s分子泵(2台) (用户指定品牌:北京信诚智尚)
2)前级泵: 2X-70机械泵(1台)
3)罗茨泵:ZJ-300型罗茨泵(1台)
4) 维持泵:TRP-48机械泵(2台)(北仪优成)
5)配备防湍流装置(可减少真空室排大气时湍流对工件的影响);
6)真空系统:真空管道软连接处采用不锈钢波纹管连接;各真空阀门为气动阀门。
4.真空系统测量:
1)配Inficon测量系统1套(包括:VGC503真空计1台;PSG500型皮拉尼规管2只;MPG400型复合规管1只)
2)高真空规安装在真空箱体抽气室侧部靠近电子枪一侧;
皮拉尼规一组安装在真空箱体抽气室顶部,另一组安装在分子泵泵前级管道上(测量点在前级泵口);
5.真空系统操作:手动/自动
6.测试方法:按照GB11164真空镀膜机通用技术条件执行