材质 | 不锈钢或碳钢 |
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产地 | 辽宁 |
类型 | 真空磁控溅射镀膜 |
适用范围 | 表面处理 |
品牌 | 宏淼 |
型号 | HM-ZF270 |
加工定制 | 是 |
HM-ZF-270小型蒸发镀膜系统
产品介绍:
该设备是一台单腔室热蒸发设备,可溅射多种材料,真空腔室选用**304不锈钢加工 圆柱型 尺寸275mm*300mm,上揭盖结构。
顶部安装有4英寸样品架,底部装有2个电阻蒸发源,前面配有观察窗,真空获得系统安装于真空室下面包括110分子泵,2L机械泵,压差阀,波纹管软连接,电控系统一套包括相序保护,真空控制系统,真空检测系统真空计。
设备采用进口检漏仪检漏,漏率超过5*10-10Pa/l/s。极限真空可达10*10-5Pa。
1,真空腔室尺寸 275mm*300mm
2,极限真空度 10*10-5Pa
3,工件捡漏漏率 5*10-10Pa/l/s
4,设备抽速30分钟 8*10-4Pa
5,蒸发源数量2个