成都南光镀膜机1100mm1100mm

 转让二手成都南光 

南光镀膜机说明书  该机用于半导体组件及光学件生产和研究是比较理想的设备,在极限真空,防止油污和缩短工作等方面都具有较好的性能,它用于单层光学薄膜和生产也是比较理想的设备.  一.工作条件  1.电源总功率约30KW,220V/380V,50HZ  线制为三相四线制.2.接地电阻小于4欧,接地导线截面积大于等于10mm2  3.安装环境必须具备良好通风条件.4.水流约1.5L/min.5.气压:0.5MPa  二.主要技术性能:(一)真空控制系统 1.半自动/手动旋钮置手动可按常规进行各种泵,阀的启动与停止操作. 2.自动/手动旋钮置自动时通过开机,真空,取件三个按钮的动作可分别执行开机/停机,真空/中止真空,取件/取件关程序.(1)a.当按下开机钮,设备将按下列步骤运行:开机械泵,截放阀延时10秒开预阀,延时30秒开扩散泵.b.当松开开机钮,设备将按下列步骤停机:关扩散泵冷却延时1小时,关预阀延时5秒关机械泵,截放阀.  (2).在执行开机程序以后 a按下真空钮设备将按下列步骤运行:开低级阀,低真空信号到,关低阀延时3秒开预阀,再延时3秒开高阀,直至高真空.松开真空钮,设备将回到开机状态.(3)a 在执和行真空程序之后,当按下取件钮,关高阀并延时5秒打开放气阀.b.当松开取件钮,在真空室门已关好之后,设备将自动回到真空程序运行.(4).通过在真空程序执行后,反复使用取件钮,可达到真空,取件的连续过程.(二).工转及比较片转动系统:工转控制采用直流调速器对工件电机进行调速,转速为连续可调.比较片电机控制为点动连续转位控制.(三).烘烤系统:本系统采用三(单)相调功器(移相或过零触发)和进口数显温控仪对工件进行烘烤,温度可控可调,设定好温度后,参照温控仪说明书,采用自整定运行,自整定运行结速后进行恒温控制(**次自整定温度会出现过冲现象,自整定运行结束后再开机,**不会出现过冲,用户可根据不同的温度要求全部进行自整定1次.)   NG-3型电子束蒸发源电源装置包括X-Y磁偏转扫描单元,枪灯丝及束流控制单元,高压自动控制装置,坩埚转动控制装置及手持控制盒.  一.工作条件:1.电源:总功率约为10KW,220V/380V,50HZ;三相四线制. 2.接地电阻小于4欧,接地导线截面积大于等于10mm2. 3.安装环境必须具备良好通风条件.  二.主要技术性能: 1.X-Y磁偏转扫描单元具有波形可选,频率可调之特点. (1).偏转(或称位移)电流:(在4-7欧负载上) IX=0-1.8A   IY=0-±1.5A  (2).扫描波形:矩形波,三角形,正玄波任选. (3).扫描电流:IX=IX±0.25A  IY=IY±0.5A (4).扫描频率:1-20HZ可调. (5).失偏保护(只对X线圈而言):当IX大于等于0.4A时,电源输出一对常开触点,可用以联锁直流高压或其它用途的控制.  2.枪灯丝单元:(1).接上枪灯丝,真空度高于6.7X10-3Pa时,灯丝变压器原边:U~约等于0~200V   I~约等于0~1.5A  (2).具有过流,失压保护功能.  3.高压控制单元:采用SKQH高压自动控制装置,克服了电子管固有的缺点.(1).直流高压:6KV,8KV,二档.换档时改变变压器抽头即可.(2).**大电流:600毫安.(3).自动控制功能:电子枪打火时能自动降低高压,随后自动迅速恢复原值. 4.坩埚转位控制单元提供四位坩埚点动. 三.安装与调试:为保证本电源正常可靠工作,必须严格按以下步骤及要求正确进行安装与调试. (一).系统接线:电源线截面积大于等于2.5平方毫米导线;接地线截面积大于等于10平方毫米导线,先连接至主机,

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