加工定制 | 是 |
---|---|
电镀电源 | 直流电源 |
镀膜材质 | 其他超硬功能性金属膜 |
镀膜原理 | 蒸发镀膜 |
产品别名 | 真空镀膜机 |
规格 | ZZS |
适用范围 | 用于生产IR-CUT滤光片、分色滤光片、高反射膜、AR膜、长波通、短波通和多种电学薄膜。 |
品牌 | 鑫南光 |
型号 | 真空镀膜机 |
电镀位置 | 浸镀 |
镀种 | 真空镀膜 |
一、用途:
用于生产IR-CUT滤光片、分色滤光片、高反射膜、AR膜、长波通、短波通和多种电学薄膜。
二、产品特点:
1、采用箱式结构,真空系统后置,便于操作和和维修;整机表面平整,便于清洁,特别适合放在净化间内作穿墙式安装。
2、设备真空系统抽速大,具有抽气时间短,真空度高,生产周期短等优点。
3、工件转动采用上部中心驱动,轴承带水冷,磁流体密封,转动平稳可靠。
4、采用先进的镀膜控制系统,人机操作界面美观实用,系统稳定可靠,可实现系统的手动、半自动和全自动操作。
三、设备主要技术指标及配置:
型号 | ZZS500 | ZZS700 | ZZS800 | ZZS1100 | ZZS1300 | ||||
真空室尺寸 (直径*高) | Φ500×650 | Φ710×850 | Φ800×900 | Φ1100×1300 | Φ1300×1500 | ||||
极限真空度 | ≤3.0×10-4Pa | ≤1.0×10-4Pa | |||||||
恢复真空时间 | ≤4.0×10-3Pa≤15min | ||||||||
真空系统主泵 | F-250 | TK-500 | K-630 | TK-500×2 | K-630×2 | ||||
真空测量系统 | 三路数字复合真空计,两路低真空,一路高真空 | ||||||||
操作方式 | 手动/自动 | ||||||||
工件夹具 | Φ410 | Φ640 | Φ730 | Φ1020 | Φ1200 | ||||
工件烘烤系统 | 上烘烤,铠装管状加热,最高温度350℃,PID自动控温及显示 | ||||||||
蒸 发 源 | 电阻蒸发源 | 电阻蒸发源功率4KW(8V,600A) | |||||||
电子束蒸发源 | E型电子束蒸发源功率6-10KW | ||||||||
膜厚监控系统 | 光学膜厚监控/石英晶体膜厚监控 | ||||||||
动力需求 | 冷却水 | 压力、温度 | 0.25~0.35MPa,温度≤25℃ | ||||||
流量 | ≥50L/min | ≥60L/min | ≥80L/min | ≥140L/min | ≥160L/min | ||||
压缩空气 | 压力:0.5~0.7MPa | ||||||||
最大消耗电力 | ~25KW | ~35KW | ~45KW | ~50KW | ~55KW | ||||
设备外形尺寸 (宽*深*高) | 2100×1800× 2000 | 3350×2600×2370 | 3580×3000×2450 | 3870×3600×2670 | 3900×4050×2950 | ||||
设备总量 | 约1500 | 约2000 | 约2500 | 约3000 | 约4000 |