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ZZ500-C型真空镀膜机

一、主要用途：
供制备薄膜无源微型元件。
二、主要技术指标：
1、蒸发室极限真空度： 4×10-4Pa
2、蒸发室恢复4×10-3Pa的时间： ≤15min
3、基片旋转架的转速： 0～60n/min
4、基片烘烤温度： 室温～350℃
5、蒸发电极数量： 3对
6、蒸发电极参数： 0～10伏 0～300A
7、离子轰击参数： 0～3000伏 0～200mA
8、钟罩容积： Φ500×620（mm）
9、需要动力： 电力 10KW
10、外形尺寸： 1300×830×1720(mm)

XXNG630-Ⅰ型磁控溅射真空离子镀膜机

一、使用范围：
1、应用行业 ：五金、钟表、装饰、工具、汽车、建筑水暧、医疗器械等行业。
2、可镀制膜层 ：各种金属膜和介质膜膜层。
一、主要技术指标；
1、真空腔体形式：钟罩顶盖升降、不锈钢制造、靶、下烘烤置于底板上，从下往上溅射。
2、内腔尺寸：φ630×300mm（长×宽×高）。
3、腔体：不锈钢，内表面抛光，外表面涂柒。
4、极限真空：6×10-4Pa（24小时内）.
5、恢复真空度：大气→6×10-3Pa≤15min。
6、抽气口有气动调节阀一套。
7、箱体骨架下方为带锁按键式门，门锁美观、大方。
8、真空室门上观察窗口一个，能方便观察弧源的工作状态。
9、电源：三相五线制220V/380V，90Hz，功率50KW
10、气源：气压0.6MPa
11、水源: 工业软水，水压0.15～0.25Mpa，水量50L/min，水温<25℃；

ZZS系列箱式真空镀膜机

一、用途：
用于生产IR-CUT滤光片、分色滤光片、高反射膜、AR膜、长波通、短波通和多种电学薄膜。
二、产品特点：
1、采用箱式结构，真空系统后置，便于操作和和维修；整机表面平整，便于清洁，适合放在净化间内作穿墙式安装。
2、设备真空系统抽速大，具有抽气时间短，真空度高，生产周期短等优点。
3、工件转动采用上部中心驱动，轴承带水冷，磁流体密封，转动平稳可靠。
4、采用专业的镀膜控制系统，人机操作界面美观实用，系统稳定可靠，可实现系统的手动、半自动和全自动操作。

JC系列磁控溅射镀膜机

一、用途：
磁控溅射镀膜设备主要用于在基片上镀制金属、半导体、电介质、多元素化合物或混合物。利用溅射法可制备金属膜、半导体膜、绝缘膜、硬质膜、耐热膜、耐腐蚀膜、超导膜、磁性膜、光学膜等各种特殊性能的薄膜。
二、产品特点：
基片尺寸适应范围广，可镀制多种材料，工艺可控性好、灵活性强、重复性高、基片温升小、膜层附着力强，计算机全自动控制，可靠性高。且安装维修方便，占地位置小。

ZZS1100型磁控溅射设备

一 主体
1.形式：箱式，立式前开门，蒸发室和抽气室，配有关门保险开关；主机与电控柜之间安装金属线槽（主要连接电缆、电线、软水管和软气管均放入金属线槽），并从主机与电控柜上方通过。水、电、气路有故障自动报警和保护系统；采用蜂鸣器报警。
2.真空腔体：内腔尺寸为φ1100 mm（直径）×1300 mm（高）；采用304不锈钢材料,内表面作抛光处理，外表面为直接焊不锈钢水管，通冷却水冷却；箱体内衬不锈钢防污板（侧壁防污板厚度δ=1.5mm，室内下防污平板厚度δ=2mm）两套（其中一套为备用），多片式结构，安装方式为龟背式，在室体抽气口与工作室之间采用方便拆卸清洗的百叶窗（2套）。防污板为可拆卸式、便于清洗。
3.真空室门：采用304不锈钢材料，内表面作抛光处理，外表面为直接焊不锈钢水管，通冷却水冷却；真空室门上装有表面涂漆的外装饰板；真空室门上设观察窗3个，位置在中下部左右各一个，并安装玻璃和可手动旋转的防护镜，内配不锈钢挡板。
4.隔离板：为了避免磁控溅射和电子枪蒸发相互污染，增加一块隔离板把真空室分成溅射区和蒸发区，并在溅射区设放电轰击，同时附加一块隔离板以便日后清洗
5.主机骨架：采用型钢制造，骨架前面有带锁的门；两侧有带百叶窗的可拆卸的固定侧板。
6.水冷却系统：主进、出水母管采用不锈钢管制成，进出水管均加装手动球阀，各主要冷却部位均单独供水冷却。进、出水软管有标识区分；对重要部件（如主泵、电子枪、等）加装水流保护，有断水报警，并有水流量显示。
7.控电柜：采用并柜方式，其中仪表安装柜为19英寸国际标准控电柜，另一个电器元件安装柜为前后开门大板式结构。控制柜面板上配有应急安全开关1个。
8.修正板：配修正挡板（固定式），不锈钢材料，主要修正电子枪及电阻蒸发源。
9.放气阀：有快、慢放气阀各一支。
二 真空系统
1.极限真空度：3×10－4Pa（空载，常温，洁净空间）
2.恢复真空时间：

1）大气至4×10－3 Pa≤15min（空载，常温，洁净空间）
2）电子枪蒸发工作时，真空镀能进入10－2Pa
3.真空系统配置：

1）主泵：配4200l/s分子泵(2台) (用户指定品牌：北京信诚智尚)
2）前级泵: 2X-70机械泵（1台）
3）罗茨泵：ZJ-300型罗茨泵（1台）
4) 维持泵：TRP-48机械泵（2台）(北仪优成)
5）配备防湍流装置(可减少真空室排大气时湍流对工件的影响)；
6）真空系统：真空管道软连接处采用不锈钢波纹管连接；各真空阀门为气动阀门。
4.真空系统测量：

1)配Inficon测量系统1套（包括：VGC503真空计1台；PSG500型皮拉尼规管2只；MPG400型复合规管1只）
2)高真空规安装在真空箱体抽气室侧部靠近电子枪一侧；
皮拉尼规一组安装在真空箱体抽气室顶部，另一组安装在分子泵泵前级管道上（测量点在前级泵口）；
5.真空系统操作：手动/自动
6.测试方法：按照GB11164真空镀膜机通用技术条件执行