真空镀膜室：304不锈钢材料，圆柱式，门上配有观察窗；镀膜室内净尺寸约为：直径260*H310mm1.产品名称：PD-500磁控溅射镀膜机
产品参数：
真空镀膜室：304不锈钢材料，圆柱式，门上配有观察窗；镀膜室内净尺寸约为：直径260*H280mm
真空极限：优于3×10-5Pa，达到3×10-4Pa≤15min
旋转基片台：承载**大直径80mm基片；基片台磁流体密封，电机驱动基片台旋转，旋转速度0-20转/分钟可调。
均匀性指标：80mm直径范围内不均匀性《5%
磁控溅射源及电源：2英寸磁控溅射靶2-3支+1KW直流/中频/射频溅射电源1套
进气系统：固定流量控制，流量计20sccm，可以配置1-3路进气，控制精度优于**大流量的+/-1%
设备配电：电压：AC220V/50HZ功率：2.5KW
设备尺寸：长×宽×高:500*360*380mm
起订量：1台
产品描述以及优点介绍
DESK系列小型台式溅射系统是我公司专为实验室应用需要而开发的小型磁控溅射镀膜试验平台。该系统兼容直流和射频溅射源，溅射金属、非金属及化合物薄膜(如：ITO)等；广泛应用于科研院所、实验室制备单层或多层薄膜，以及新材料、新工艺研究。
设备特点：
★全不锈钢真空腔室，保证系统的耐久性及操作安全性；更合理的气路设计及细节考虑。
★更的小体积，系统采用模块化设计，可扩展性高；在保证系统稳定性的前提下，进一步优化您的实验室利用空间。
★系统采用机械泵+进口分子泵组成高真空系统，抽到工作高真空仅需15-20min，节省实验时间。
★系统采用机械泵+进口分子泵组成高真空系统，抽到工作高真空仅需15-20min，节省实验时间。