真空镀膜室：304不锈钢材料，圆柱式，门上配有观察窗；镀膜室内净尺寸约为：直径260*H310mm1.产品名称：PD-500S高真空电子束蒸发连接手套箱系统1.产品名称：PD-600电子束蒸发镀膜机

产品参数：
真空室：圆柱形真空室，304不锈钢制造，内径600mm，高650-800mm，前开门，两个观察窗。
高真空泵：国产分子泵或低温泵可选；极限真空优于5x10-5Pa，从大气抽到8 x10-4Pa≤30分钟。
电子枪：270度E型电子枪
多孔坩埚电子枪，如4x25cc、6x25cc、8x25cc，或者环形坩埚（150cc或300cc），坩埚尺寸可以定制。
10KW或15KW高压电源，高压输出6-10KV可调节。
蒸发源：采用电阻加热方式蒸发；可配备2组源。
蒸发速率及膜厚控制：Inficon SQC-310石英晶体膜厚控制器，控制蒸发速率及膜层厚度。
加热控制 石英灯组加热200-300度
起订量：1台
产品描述以及优点介绍
该系统配置一个多坩埚电子束蒸发源可同时选择搭配多组电阻蒸发源，可在基片蒸发沉积金属、半导体或介质材料；应用于研究所、科研制备导电薄膜、光学薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜等及企业的批量生产。
设备特点：
★可搭配离子源进行表面清洁和离子辅助蒸镀，也可搭配电阻蒸发源使用；
★石英晶体膜厚控制器控制蒸发速率和厚度；
★不同真空抽气系统可选：油式机械帮浦、干式帮浦、分子帮浦或冷冻帮浦；
★不同数量及尺寸坩埚可选、多种形式工装可选。
★系统采用机械泵+进口分子泵组成高真空系统，抽到工作高真空仅需15-20min，节省实验时间。