品牌:沈阳威利德真空
品牌:沈阳威利德
型号:PVD1612G
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| 品牌 | 沈阳威利德 |
|---|---|
| 型号 | PVD1612G |
主要技术参数：
1. 极限真空度：5x10-4Pa；2. 工作真空度：6.67x10-3Pa；3. 抽速：从大气抽至6.67x10-3Pa，＜12分钟；4. 压升率：0.35Pa/小时；5. 自转轴中心距：210mm或165mm可互换；6. 工位：24个或18个可互换；7. 电气控制系统：PLC全自动控制，可动行多种工艺设置。| 产品名称 | PVD1612G | 数量 |
| 真空系统 | 1.2x70旋片泵三台2.RTO·300S罗茨泵一台3.TYFB-3600分子泵三台 4.阀门：GDZ3X400A高阀（全不锈钢结构），前级阀、预抽阀、维持阀、截止阀以上均为GDQ100型不锈钢结构，DDC-JQ80型电磁真空带充气阀为上海二阀电磁阀，旁通阀为罗茨泵内安装阀； 5.管道为全不锈钢结构 | 1套 |
| 真空室 | 1.罐体材料为太钢SUS304不锈钢带水冷套结构，内尺寸Φ1600x1200mm，内壁厚10mm，上盖板布置8对（16支）磁控靶位孔位，对靶间距两工位，抽气口两侧排布两组八支弧源，门上两个观察窗； 2.工件支杆1套，Ø8mm； 3.内衬板2套； 4.布气管路； 5.放气阀加装空气滤清器； 6.转架为下转架，带屏蔽罩。 | 1套 |
| 偏压电源 | 脉冲逆变PLS50KW | 1台 |
| 中频电源 | 中频逆变MF40KW | 8台 |
| 弧电源 | 直流逆变DC160A | 8台 |
