| 材质 | 不锈钢 |
|---|---|
| 产地 | 北京 |
| 适用对象 | 真空镀膜机 |
| 新旧程度 | 全新 |
| 种类 | 机械设备 |
| 品牌 | 泰科诺 |
| 型号 | TEMD |
| 加工定制 | 是 |
| 打样周期 | 1-15天 |
| 加工周期 | 60天 |
| 质量认证 | ISO9001 |
| 年剩余加工能力 | 50台 |
| 年最大加工能力 | 100台 |
一、产品概述
1、适用：大专院校、科研院所及企业进行薄膜新材料的科研与小批量制备。
2、产品特点/用途：
?设备一体化设计，占地面积小，性价比高，性能稳定，使用维护成本低；
?适用于实验室制备金属单质膜、半导体膜、有机膜，也可用于生产线前期工艺试验等；
?适用于制备光学薄膜、导电薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜等。
二、技术参数
| 型号 | TEMD500 |
| 真空腔室结构 | 立式圆柱形侧开门结构，后置抽气系统 |
| 真空腔室尺寸 | Φ500×H650mm |
| 加热温度 | 室温～300℃ |
| 旋转基片台 | 平板型Φ200mm |
| 膜厚不均匀性 | ≤±5.0% |
| 考夫曼离子源 | 可选 |
| 蒸发源 | 4-6穴坩埚可选/2组蒸发源 |
| 控制方式 | PLC控制/工控机全自动控制可选 |
| 占地面积 | 主机L1500×W850×H1750mm |
| 总功率 | ≥20KW |
