| 材质 | 不锈钢或碳钢 |
|---|---|
| 产地 | 辽宁 |
| 类型 | 真空磁控溅射镀膜 |
| 适用范围 | 表面处理 |
| 品牌 | 宏淼 |
| 型号 | HM-ZF270 |
| 加工定制 | 是 |
HM-ZF-270小型蒸发镀膜系统
产品介绍：
该设备是一台单腔室热蒸发设备，可溅射多种材料，真空腔室选用**304不锈钢加工 圆柱型 尺寸275mm*300mm，上揭盖结构。
顶部安装有4英寸样品架，底部装有2个电阻蒸发源，前面配有观察窗，真空获得系统安装于真空室下面包括110分子泵，2L机械泵，压差阀，波纹管软连接，电控系统一套包括相序保护，真空控制系统，真空检测系统真空计。
设备采用进口检漏仪检漏，漏率超过5*10-10Pa/l/s。极限真空可达10*10-5Pa。
1，真空腔室尺寸 275mm*300mm
2，极限真空度 10*10-5Pa
3，工件捡漏漏率 5*10-10Pa/l/s
4，设备抽速30分钟 8*10-4Pa
5，蒸发源数量2个
