材质	不锈钢
类型	真空泵
用途	真空泵
真空度	高真空度
泵轴位置	卧式
品牌	光驰
型号	OTFC-1300
加工定制	是

产品名： OTFC-1300DBI 型?式： 产品参数：  

产品名：
OTFC-1300DBI
型?式：
1300DBI
产品参数：
真空室	SUS304,Ф1300×1610mm(H)
工件架	Ф1130mm
工件架转速	10rpm to 50rpm(可变)
光学膜厚控制	HOM2-R-VIS350A
光学膜厚监控仪	波长范围：350nm to 1100nm
	反射式/透射式
水晶式膜厚计	XTC/3+6点式水晶传感器
蒸发源	电子枪2套
离子源	17cmRF离子源
排气系统	机械泵
	2个扩散泵
	Polycold（或2个冷凝泵）
性 能
达到压力	7.0×10-5Pa以下
排气时间	15分
	（大气压～1.3×10-3Pa）
基板温度	**高：350℃
工作条件
设备尺寸	约5000mm(W)×6500mm(D)×3500mm(H)
电源	3相,200v,50/60Hz, 约104KVA
水流量	140升/分以上
空气压力	0.5MPa以上
重量	约9000kg