货号	HM-V300
装修及施工内容	安装工程

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黄经理

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1. 真空腔体为直径350 mm的玻璃腔体，易清洁和放入样品；2. 双蒸发源设计，自由切换蒸镀材料；3. 安装有一个200 mm的样品台，并且样品台可以旋转，使所制薄膜达到更好的均匀性；4. 采用钨舟作为发热源，**高温度可达到2300℃；（赠送三只）5. **控温：可设置30段升降温程序，控温精度为+/-1℃；6. 自动/手动双控制选择；7. 设备上有一KF25接口用于连接真空泵；8. **高真空度可达1E-6 Pa（采用涡旋分子泵）9. 双极旋片真空泵或干泵，可使仪器真空腔体的真空度达到0.1 Pa；10. 真空度达到0.1 Pa时，可蒸发一些贵金属，如金、银和铂，也可蒸发一些有机材料；11. 高真空度可达1E-3 Pa（采用涡旋分子泵），此时可蒸发对氧敏感的材料，如Al、Mg、Li；12. 样品台可静止或自动旋转，转速为：15 rpm13. 样品台和蒸发源之间的距离可以调节，调节范围为：50mm-200mm；14. 配备膜厚检测仪